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三维移动平台及应用其的ICP炬管定位装置
(时间:2014-09-16 11:46:31   点击数:
专利名称 三维移动平台及应用其的ICP炬管定位装置
专利类型 实用新型专利
专利号 201320331705.2
申请日 2013-06-08
授权日 2013-11-20
应用领域 机械设备-仪器仪表
专利简介 本实用新型提供了一种三维移动平台,由X、Y、Z三个方向上的互相独立的X、Y、Z向移动台组成,X、Y向移动台结构相同,组成“十”字型,X向移动台置于底层,Y向移动台设于X向移动台之上,Z向移动台位于顶层。还提供了一种ICP炬管定位装置,该装置包括上述三维移动平台以及ICP光源发生设备,ICP光源发生设备安装在所述三维移动平台的Z向移动台的承载平台上,由炬管、炬管夹持座、RF线圈和高频发生器组成,炬管夹持座固定安装在承载平台上,炬管设于RF线圈的内部,RF线圈的两端与高频发生器的铜接头螺纹连接。本实用新型的有益效果:三维移动平台运行稳定、定位精确;将其应用于ICP炬管定位装置,实现炬管重复准确定位,结构紧凑,可靠性高。
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