本发明提供了一种集成复用和调制功能的硅光发射机芯片结构,其包括参数相同的两微环波导,每一微环波导下方设有一输入波导,两微环波导上方设有总输出波导,通过设置每一输入波导和总输出波导与一微环波导之间的间隙及各波导的截面宽度在一微环波导上、下方分别形成复用区和耦合区,耦合区将基模信号耦合到微环波导内,并通过对微环波导进行掺杂实现载流子色散效应以此进行电光调制,通过设计总输出波导截面宽度将两调制信号分别转换为基模调制信号和一阶模调制信号并复用到总输出直波导内,并通过总输出直波导上的解复用区进行解复用。本发明通过将硅光发射机的复用部分与调制部分集成在同一器件上,减小硅光发射机的整体尺寸,提高集成度。 |