| 专利简介 |
本实用新型提供了一种三维移动平台，由X、Y、Z三个方向上的互相独立的X、Y、Z向移动台组成，X、Y向移动台结构相同，组成“十”字型，X向移动台置于底层，Y向移动台设于X向移动台之上，Z向移动台位于顶层。还提供了一种ICP炬管定位装置，该装置包括上述三维移动平台以及ICP光源发生设备，ICP光源发生设备安装在所述三维移动平台的Z向移动台的承载平台上，由炬管、炬管夹持座、RF线圈和高频发生器组成，炬管夹持座固定安装在承载平台上，炬管设于RF线圈的内部，RF线圈的两端与高频发生器的铜接头螺纹连接。本实用新型的有益效果：三维移动平台运行稳定、定位精确；将其应用于ICP炬管定位装置，实现炬管重复准确定位，结构紧凑，可靠性高。 |
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