一种组合合成锆钛酸铅薄膜的方法-知识产权与技术转移中心

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专利名称	一种组合合成锆钛酸铅薄膜的方法
专利类型	发明专利
专利号	201110045681.X
申请日	2011-02-24
授权日	2013-03-13
应用领域	材料化学－新材料
专利简介	本发明公开了一种组合合成锆钛酸铅薄膜的方法，属于功能陶瓷薄膜领域。该方法是：将配制好的含铅钛的混合液A与含铅锆的混合液B按比例混合，得到前驱溶液，然后采用旋转涂膜法在Si/SiO2/Ti/Pt(111)基片上涂膜，最后在纯氧气氛中快速退火，得到锆钛酸铅薄膜。本发明方法仅需两种前驱溶液制备出了组成系列变化的锆钛酸铅薄膜，在批量制备中减少了前驱溶液的数量，有效的简化了前驱溶液的配制过程，特别是在梯度材料的制备中，可以大幅缩短制备周期。